磁気機能性流体を活用した研磨における加工除去深さ分布の予測 論文 西田 均・山本 久嗣・島田 邦雄・井門 康司 ·2024 ·『精密工学会学術講演会講演論文集』 2024A(0) pp. 513-514 doi:10.11522/pscjspe.2024A.0_513
磁気機能性流体を活用した研磨における加工除去深さ分布の予測 論文 西田 均・山本 久嗣・島田 邦雄・井門 康司 ·2024 ·『精密工学会学術講演会講演論文集』 2024A(0) pp. 513-514 doi:10.11522/pscjspe.2024A.0_513